Электронный каталог МАУК "МИБС" г. Кемерово

Книга
32.85 З-33

Запорожский, Владимир Петрович.
Обработка полупроводниковых материалов : учебное пособие для ССУЗ / Владимир Петрович Запорожский, Борис Алексеевич Лапшинов . – Москва : Высшая школа, 1988 . – 184 с. : ил.

Приведены основные сведения о технологическом процессе производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, описаны режимы обработки, причины возникновения брака и способы его устранения; процессы механической обработки пластин, разделения их на кристаллы, изготовления фотошаблонов; устройство, наладка, правила эксплуатации типового оборудования и др./аб-1 кх-1/

ББК 32.85я7

Общий = Учебники и учебные пособия : для средне-специальных учебных заведений
Общий = Полупроводниковые приборы
ключевой = Микросхемы
Общий = Полупроводниковые материалы : Обработка
ключевой = полупроводниковые пластины
ключевой = фотошаблоны
Общий = Конвертация